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21 系列 標(biāo)準(zhǔn)型質(zhì)量流量控制器 層流差壓原理 非抗腐蝕 量程 0.5 SCCM - 6000 SLPM，優(yōu)于 1 % 的精度，控制范圍廣，優(yōu)于 100 ms 響應(yīng)時(shí)間

數(shù)字式質(zhì)量流量控制器適用于多種不同的產(chǎn)業(yè)應(yīng)用。可實(shí)現(xiàn)大范圍控制從10SCCM至1000SLM。此款MFC包含多種不同通訊方式（數(shù)字式/模擬式， CC-Link®, PROFIBUS™, 以及 EtherCAT®），高精度（± 1.0% S.P. *1），快速響應(yīng)。同時(shí)這款MFC支持多氣體/多量程功能，減少客戶成本。

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